底装料多工位气相沉积炉一种用于各类热解炭、热解碳、碳/碳复合材料、碳基材料、超高温陶瓷为基底的CVD气相沉积，以及各类金属、石墨基底涂层的石墨烯的CVD沉积制备工业炉。
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产品型号规格 φXh(mm) |
600X600 |
1000X1000 |
1500X1000 |
2000X1000 |
2000X2000 |
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电源功率(KW) |
60 |
90 |
120 |
150 |
200 |
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最高工作温度(℃) |
1250 |
1250 |
1250 |
1250 |
1250 |
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极限真空度(pa) |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
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压升率(pa/h) |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
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恒温区温差(℃) |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
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质量流量(L/min) |
60 |
60 |
60 |
60 |
60 |
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工作工位 |
1 |
1-3 |
1-3 |
1-3 |
1-3 |
产品特征：
1、控温精度高，±0.1℃，保温3小时后，测温环12点测温，温度均匀性<±3℃
2、系统工作温度25-1250度，设计充气考虑CVD工作环境，长期稳定工作
3、系统配置完善的保护、过压、过流、水路断流、三相不平衡、水温、可燃气体泄露报警等。
4、可配备多路匀速旋转工作平台
5、气路设置多路及多种控制方式的质量流量计，手动针形阀、多路气体混合输入装置。
6、气体流速、流量可控，支持手持式风速测量仪
7、炉内挥发附着物少
8、冷凝收集器收集效率90%以上
株洲远航工业炉科技有限公司是一家专业提供各种热处理设备的成套解决方案的新型科技企业。公司主要生产制造的产品：高温石墨化炉，高温碳化炉，气氛保护烧结炉，真空烧结炉，真空炉、热压炉，真空感应熔炼炉，中频烧结炉，中频淬火设备和真空回火炉等多种规格热处理设备。产品规格齐全，科技含量高、工艺先进、结构合理、质量稳定、操作方便，在用户中享有较好的声誉。广泛应用于航天、电子、交通、机械、冶金、硬质合金、难熔金属、特种陶瓷、炭复合材料、半导体材料及太阳能电池等几十种加工制造行业及领域。
