远航工业炉大型底装料多工位气相沉积炉应用

产品应用概述 / Applications

化学气相沉积（CVD）和化学气相渗透（CVI）是制备高性能碳/碳（C/C）复合材料、超高温陶瓷材料及石墨烯涂层的关键工艺。远航工业炉研发的大型底装料多工位气相沉积炉，通过精准控制温场和前驱体流量，实现材料的快速致密化。底装料设计不仅简化了操作流程，更通过 1-3 工位的灵活配置，满足了从科研中试到大规模工业化生产的不同需求。

图：远航工业炉-底装料多工位高效沉积系统

核心规格参数对照表 / Technical Specs

远航 CVD 沉积系统的核心特征

• ✅ 高精度温控保障： 采用多点同步测温技术，保温 3 小时后均匀性优于 ±3℃，控温精度 ±0.1℃。
• ✅ 灵活的工位配置： 支持 1-3 工位按需运行，配备匀速旋转工作平台，显著提升单批次良品率。
• ✅ 智能气路管理： 设置多路及多种控制方式的质量流量计，支持多路气体预混合输入与精密调节。
• ✅ 高效环保系统： 专门设计的冷凝捕捉器收集效率 >90%，大幅减少尾气对真空泵的损害。
• ✅ 全方位安全盾牌： 集成过压、过流、水路断流、三相不平衡及可燃气体泄漏报警等自保护功能。

行业应用与代工服务