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底装料多工位气相沉积炉
底装料多工位气相沉积炉一种用于各类热解炭、热解碳、碳/碳复合材料、碳基材料、超高温陶瓷为基底的CVD气相沉积,以及各类金属、石墨基底涂层的石墨烯的CVD沉积制备工业炉。
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产品简介 / Introduction

底装料多工位气相沉积炉一种用于各类热解炭、热解碳、碳/碳复合材料、碳基材料、超高温陶瓷为基底的CVD气相沉积,以及各类金属、石墨基底涂层的石墨烯CVD沉积制备工业炉。


CVD气相沉积炉

 

产品型号规格

φXh(mm)

600X600

1000X1000

1500X1000

2000X1000

2000X2000

 

 

 

 

 

 

电源功率(KW)

60

90

120

150

200

最高工作温度(℃)

1250

1250

1250

1250

1250

极限真空度(pa)

10

10

10

10

10

压升率(pa/h)

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

恒温区温差(℃)

±5

±5

±5

±5

±5

质量流量(L/min)

60

60

60

60

60

工作工位

1

1-3

1-3

1-3

1-3



 CVD气相沉积炉j电气

 

产品特征:

1、控温精度高,±0.1℃,保温3小时后,测温环12点测温,温度均匀性<±3℃

2、系统工作温度25-1250度,设计充气考虑CVD工作环境,长期稳定工作

3、系统配置完善的保护、过压、过流、水路断流、三相不平衡、水温、可燃气体泄露报警等。

4、可配备多路匀速旋转工作平台

5、气路设置多路及多种控制方式的质量流量计,手动针形阀、多路气体混合输入装置。

6、气体流速、流量可控,支持手持式风速测量仪

7、炉内挥发附着物少

8、冷凝收集器收集效率90%以上


扩展阅读:

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