远航工业炉大型气相沉积中频高温炉解决方案

行业痛点：CVD 线圈失效分析 / Problem Analysis

在大型中频气相沉积工艺中，由于沉积时间极长且工作温度极高，物料挥发出的物质极易在炉体内部及感应线圈上沉积。这些挥发物形成的“焦油”层具有导电性，会导致线圈出现严重的打火、短路及电流泄漏现象，甚至造成设备意外停机与昂贵配件损毁。

图：由于“焦油”冷凝导致的感应线圈短路与打火损伤

远航工业炉：4 层特种绝缘工艺优势 / Technical Advantages

针对上述挑战，株洲远航工业炉科技有限公司开发出了一套专用的绝缘修复与加固系统。通过特殊的 4 层绝缘叠加工艺，确保线圈即使在近距离靠近高温发热工件的情况下，依然保持卓越的介电性能。

系统解决方案的核心价值

• ✅ 零挥发环保特性： 绝缘材料在任何温度下均无气味、无挥发，保障炉内沉积气氛的超高纯度。
• ✅ 损伤易修复设计： 线圈在长期服役中若发生机械撞击损伤，可直接通过配套材料原地修复，大幅缩短停机时间。
• ✅ 高安全性保障： 彻底消除电流泄漏与线圈打火隐患，延长中频电源及功率元器件的使用寿命。
• ✅ 全环境适配： 无论是在高真空、还原气氛还是惰性气体环境下，均能展现出极佳的绝缘一致性。