株洲远航工业炉科技有限公司

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CVD气相沉积炉

远航工业炉大型底装料多工位气相沉积炉应用

结构优势:采用底装料结构,特别适合大尺寸、重型复合材料工件的平稳装卸,结合多工位设计显著提升单位产线产能。精密工艺:工作温度1250℃,控温精度高达±0.1℃,实测温场均匀性优于±3℃。配备多路质量流…
远航工业炉大型气相沉积中频高温炉解决方案

远航工业炉大型气相沉积中频高温炉解决方案

行业挑战:大型中频气相沉积炉因工艺周期长、温度高,挥发物极易在线圈表面冷凝形成导电“焦油”,诱发线圈短路与打火风险。核心突破:远航工业炉采用特种4层绝缘技术,材料耐温高达1850℃,击穿强度超过10⁴…
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