洞察炉内变化：石墨化炉过程监控能力的边界与拓展

对工艺过程的监控越深入，对产品质量的控制就越精准。我们的系统提供了坚实的基础监控

能力，并支持高级功能的扩展。

一、标准配置：全面的压力与流量监控

实时监控与记录：系统能够实时高频率地监控并记录炉内压力（绝对压力或相对压力）的变化曲线。同时，进气和质量流量计（MFC）的设定流量和实际流量也被全程记录。这些是标准功能。

二、高级选配：气体成分分析

技术支持：实时监控气体成分（如O2, H2, CO, CH4等）是完全可以实现的，但这属于高级选配功能，并非标准配置。

实现方式：需要为客户集成额外的气体分析系统，例如：

质谱仪（MS）：响应速度快，可分析多种气体成分，精度高，是高端科研和严格质控的理想选择。

气相色谱仪（GC）：分析精度高，但周期较长。

氧分析仪、露点仪：用于特定成分的专项监测。

集成方案：我们会预留采样接口，并将分析仪的信号接入主控系统，实现成分数据与温度、压力曲线的同步显示和记录。

三、应用价值

工艺研发：精确了解不同温度下物料的分解和反应产物，助力新工艺开发。

质量预警：通过监测CO、CH4等特征气体的浓度变化，可判断石墨化进程，甚至实现终点判断。

安全保证：实时监测O2浓度，确保工艺安全。