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底装料多工位气相沉积炉
产品简介
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底装料多工位气相沉积炉一种用于各类热解炭、热解碳、碳/碳复合材料、碳基材料、超高温陶瓷为基底的CVD气相沉积，以及各类金属、石墨基底涂层的 石墨烯的CVD沉积制备工业炉。
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产品型号规格 φXh(mm) |
600X600 |
1000X1000 |
1500X1000 |
2000X1000 |
2000X2000 |
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电源功率(KW) |
60 |
90 |
120 |
150 |
200 |
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最高工作温度(℃) |
1250 |
1250 |
1250 |
1250 |
1250 |
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极限真空度(pa) |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
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压升率(pa/h) |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
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恒温区温差(℃) |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
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质量流量(L/min) |
60 |
60 |
60 |
60 |
60 |
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工作工位 |
1 |
1-3 |
1-3 |
1-3 |
1-3 |
产品特征：
1、控温精度高，±0.1℃，保温3小时后，测温环12点测温，温度均匀性<±3℃
2、系统工作温度25-1250度，设计充气考虑CVD工作环境，长期稳定工作
3、系统配置完善的保护、过压、过流、水路断流、三相不平衡、水温、可燃气体泄露报警等。
4、可配备多路匀速旋转工作平台
5、气路设置多路及多种控制方式的质量流量计，手动针形阀、多路气体混合输入装置。
6、气体流速、流量可控，支持手持式风速测量仪
7、炉内挥发附着物少
8、冷凝收集器收集效率90%以上
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