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底装料多工位气相沉积炉
结构优势：采用底装料结构，极大地方便了大尺寸、重型工件的平稳装卸，减少了对炉膛及发热体的损伤风险。高效产出：支持1-3工位可选，可配备多路匀速旋转工作平台，确保涂层沉积的均匀度与批次稳定性。精密控温：最高工作温度1250℃，控温精度达±0.1℃。配备多路质量流量计与高效率冷凝收集器（收集率>90%），满足各种复杂CVD工艺需求。
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高温碳化炉
设备核心：主要用于PI膜、碳/碳复合材料、碳纤维保温材料及石墨制品的中高温碳化工艺。性能指标：最高设计温度1650℃，长期常用温度1600℃。极限真空度20Pa，支持高负载大批量连续作业。结构优势：采用高纯石墨发热体，配备专用料车与手动/电动铰链回转炉门，装料空间极大（支持2500mm规格定制），进出料效率高且便捷。