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远航工业炉大型底装料多工位气相沉积炉应用
远航工业炉
2020-07-20 09:29
产品应用概述 / Applications
化学气相沉积（CVD）和化学气相渗透（CVI）是制备高性能碳/碳（C/C）复合材料、超高温陶瓷材料及石墨烯涂层的关键工艺。远航 工业炉研发的大型底装料多工位气相沉积炉，通过精准控制温场和前驱体流量，实现材料的快速致密化。底装料设计不仅简化了操作流程，更通过 1-3 工位的灵活配置，满足了从科研中试到大规模工业化生产的不同需求。
图：远航工业炉-底装料多工位高效沉积系统
核心规格参数对照表 / Technical Specs
| 产品型号(φXh mm) | 功率(KW) | 恒温区温差(℃) | 工作工位 | 流量(L/min) |
|---|---|---|---|---|
| 600 X 600 | 60 | ±5 | 1 | 60 |
| 1000 X 1000 | 90 | ±5 | 1-3 | 60 |
| 1500 X 1000 | 120 | ±5 | 1-3 | 60 |
| 2000 X 2000 | 200 | ±5 | 1-3 | 60 |
* 通用性能指标：控温精度 ±0.1℃，极限真空度 10Pa，压升率 0.67 Pa/h，最高温度 1250℃。
远航 CVD 沉积系统的核心特征
- ✅ 高精度温控保障： 采用多点同步测温技术，保温 3 小时后均匀性优于 ±3℃，控温精度 ±0.1℃。
- ✅ 灵活的工位配置： 支持 1-3 工位按需运行，配备匀速旋转工作平台，显著提升单批次良品率。
- ✅ 智能气路管理： 设置多路及多种控制方式的质量流量计，支持多路气体预混合输入与精密调节。
- ✅ 高效环保系统： 专门设计的冷凝捕捉器收集效率 >90%，大幅减少尾气对真空泵的损害。
- ✅ 全方位安全盾牌： 集成过压、过流、水路断流、三相不平衡及可燃气体泄漏报警等自保护功能。
行业应用与代工服务
• 航空航天： 碳/碳喉衬、航空制动盘的 CVI 致密化。
• 半导体： 石墨基座碳化硅（SiC）涂层制备。
• 新能源： 锂电负极石墨烯涂层改性处理。
• 代工服务： 我们提供高标准的热处理与沉积代加工服务，助您快速落地科研成果。
远航工业炉——提供从 1250℃ 沉积到 3000℃ 石墨化的全流程方案。
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