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专为电磁纯铁(DT4C/DT4A)、软磁合金及电子真空器件设计的深度脱气方案。采用深度高真空与纯氢气保护工艺,在有效去除材料内部杂质原子(碳、氮、氧等)的同时,显著提升磁导率并降低矫顽力,确保精密电子元器件的磁性能与密封可靠性。
本系列电磁纯铁脱气炉针对软磁材料及真空器件对环境纯净度的极高要求而设计。设备配备多重安全连锁的氢气控制系统与多级真空系统,在最高 950℃ 的精准工艺下,通过氢还原与高温脱气,彻底清除材料内部的残留气体与杂质。这不仅提升了材料的磁感应强度,还确保了在真空封装过程中的放气率达标。
| 参数项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 炉罐材质 | 310S 或特种耐热不锈钢 |
| 压升率 | ≤ 2 Pa/h(高真空密封标准) |
| 氢气安全系统 | 自动防爆点火 + 紧急氮气吹扫系统 |
| 加热元件 | 优质瑞典 Kanthal 丝 / 高性能合金丝 |
| 真空系统配置 | 机械泵 + 扩散泵(或分子泵组) |
| 控温精度 | ±0.1℃(分段PID智能调节) |